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项目概述:
◇三部分构成的平台:XY物镜平台,Z向大行程对焦平台,Z向小行程对焦平台;
◇宏微二级结构的对焦方式,直流电机与滚珠丝杠直连实现物镜的粗调节,压电陶瓷实现微动;
◇进口丝杆传动的方导轨型电动平台,适合工业检测或需高负荷长期连续运行的场所;
◇进口高精密压电平台驱动,重复定位精度和绝对定位精度达到纳米级别。
项目来源:
广东省教育部产学研项目
项目编号:
2007A090302071
立项时间:
2007
项目介绍:
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       项目主要是研发高精度、高速度的图像检测对位设备,包括承载6个不同倍数镜头的XY平台、实现高精度、高速度对焦的Z轴大行程平台,重复定位精度和绝对定位精度达到纳米级别的压电平台,可实现精确、快速的对焦,其参数为:
1)第一次对焦总共用时≤200ms;
2)切换镜头用时≤500ms;
3)切换镜头总共用时≤500ms;
4)对焦轴(小行程)行程:100um.精度≤±0.3um.速度>10mm/s.重复精度≤±0.2um;
6)切换镜头用的X,Y轴行程X>76mm;Y>38mm.速度200mm/s.重复精度≤±1.5um;
拟解决的关键技术:
1) 针对普通精密对位设备对焦精确度不够高,容易产生误对焦问题;研制高精度的纳米级定位工作台,同时研制能够实时反馈调整的控制系统。
2)针对对焦稳定性不强,容易受到环境和硬件中各种噪声的影响问题;研究平台的稳定性控制。
3)针对对焦速度达不到要求,智能化程度和实时性不够高问题;研究平台在高速的运行状况下并保持平台的运行稳定性。
4) 针对行程不够,难以满足精密工程的需要;研制具有大行程的移动范围并能保持精密的定位对焦平台。
图片展示:
 

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